AMR/GMR/TMR Chip Produktion​

Als Besitzer Europas führender Chipfabrik für MR-Mikrosysteme sind wir Ihr erfahrener Partner. Unsere Chips werden elektrisch und magnetisch getestet und selektiert, wahlweise als gesägter Wafer auf Folie oder sortiert in Wafflepacks geliefert. Zusätzlich bieten wir Dienstleistungen wie Dünnschichttechnologie und MR-Sensorik an. Von der Beschichtung für 5″ Wafer bis zur feinen Strukturierung (≤0,2 µm Strukturbreite) erhalten Sie maßgeschneiderte Fertigungsdienstleistungen höchster Qualität, unterstützt durch modernste Plasmatechnologie, Mikrolithographie und Mikrogalvanik.

Systemfertigung​

Innerhalb der Systemfertigung wird vom Prototyp mit zum Teil hohem manuellen Montageanteil bis hin zur Serienfertigung auf automatischen Produktionsanlagen der vollständige Produktionsprozess für Sensorsysteme, bestehend aus Sensor, Sensorelektronik und magnetischer Skalierung, abgedeckt.

Hierfür stehen nachfolgende Prozesse zur Verfügung:

Herstellung von Maßverkörperungen​

Um Winkel und Wege hochauflösend und genau zu messen, werden magnetische Maßverkörperungen in Verbindung mit unseren Sensoren eingesetzt. Diese Maßverkörperungen werden abwechselnd mit gegensätzlich polarisierten Polen (Nord- und Südpol) magnetisiert.
Lineare Maßstäbe werden in Längen von < 1 cm bis zu mehreren Metern oder als Polringe in unterschiedlichen Durchmessern passend für die jeweilige Messaufgabe hergestellt. Die Pollängen zwischen 0,5 mm und 10 mm werden hochpräzise durch ein patentiertes Magnetisierungsverfahren magnetisiert.

Neben den klassischen inkrementellen Magnetisierungen sind auch verschiedene Codierungen und mehrere Spuren möglich, um beispielsweise Maßverkörperungen für absolute Messsysteme herzustellen.

Die Maßverkörperungen bestehen für Standardanwendungen aus flexiblem Kunststoffmaterial mit eingelagertem Ferritpulver. Für höhere Genauigkeiten und mit Blick auf das thermische Verhalten werden auch Maßverkörperungen aus keramischem Material verwendet.

Entsprechend der jeweiligen Aufgabe werden die Maßverkörperungen oft gemeinsam mit dem Anwender abgestimmt und so optimal auf die Messaufgabe angepasst.

Konstruktion

Mit weit über 60 Patenten zu MagnetoResistiven Sensoren ist das IP-Portfolio der Sensitec abgesichert. Viele im Markt befindliche Lösungen, auch von Wettbewerbern, basieren auf Schutzrechten der Sensitec und zeugen von der hohen Innovationskraft des Unternehmens.

Zur Absicherung der elektrischen Funktionalität eines Sensordesigns setzen wir umfangreiche FEM-Simulationen ein. So ist gewährleistet, dass das „erste Silizium“ elektrisch fehlerfrei ist und unnötige Redesigns vermieden werden.

Zur Absicherung der magnetischen Funktionalität setzen wir eigens entwickelte Simulationswerkzeuge für das magnetische Verhalten der Sensoren ein. Sowohl für AMR als auch für GMR Schichtsysteme verfügen wir über eine umfangreiche Modellbibliothek.
Das in die Entwicklung integrierte Testlabor erlaubt eine schnelle Überprüfung von neuen Sensordesigns.

Die mechanische Konstruktion der Teststände und entsprechende Testalgorithmen beruhen auf der jahrelangen Erfahrung unser Ingenieure und Wissenschaftler.

Elektronik-Design

Sensitec bietet nicht nur MR-Sensorkomponenten, sondern auch eine breite Palette von Auswertekonzepten in Form von Sensormodulen für die Signalverarbeitung an. Die umfassenden Kompetenzen in Elektronik- und hardwarenaher Softwareentwicklung ermöglichen die Realisierung optimal angepasster Sensorsysteme. Durch den Einsatz von ASICs, bewährten Auswerte-ICs und anderen Elektronikkomponenten, sowie Spice- und FEM-Simulationen, wird das Elektronikdesign perfektioniert. Sensormodule werden unter Berücksichtigung von Kundenwünschen und Design-Regeln konzeptioniert, simuliert, gefertigt und evaluiert.

Es entstehen nicht nur maßgeschneiderte Lösungen, sondern auch Standardmodule, die kostengünstig und einfach in eigene Anwendungen integriert werden können. Maßverkörperungen in Verbindung mit Sensoren werden mit patentierten Magnetisierungsverfahren hergestellt, wobei verschiedene Codierungen und Spuren für absolute Messsysteme möglich sind. Die Maßverkörperungen reichen von <1 cm bis mehreren Metern, in Form von linearen Maßstäben oder Polringen. Diese können aus flexiblem Kunststoffmaterial oder keramischem Material für höhere Genauigkeiten bestehen. Die Anpassung erfolgt in enger Abstimmung mit dem Anwender, um eine optimale Lösung für die jeweilige Messaufgabe zu gewährleisten.

Mechanik​

Sensitec setzt die modernsten CAD Werkzeuge zur Entwicklung sowohl für unsere Katalogprodukte als auch für kundenspezifische Varianten ein.

Wir nutzen das Paket Solid Works® für mechanische Konstruktionen. Die parametrische Modellierung erlaubt uns schnell Veränderungen oder Adaptionen durchzuführen.

Wir können 3D-CAD Dateien von unseren Produkten in unterschiedlichen Formaten zur Verfügung stellen, um so unseren Kunden Zeit und Aufwand beim mechanischen Entwurf neuer Systeme zu ersparen.